空气质量日益恶化问题引起了人们的重视,为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品。
MEMS麦克风可根据工作原理分类:压阻式、驻极体式、电容式、压电式、光电式等几种。
封装成型的MEMS麦克风主要由三个部分组成:MEMS器件、ASIC(专用集成电路)、留有入声孔的包装外壳。
声波通过入声孔进入到封装内,打在MEMS器件上,MEMS器件主要由背板和振膜组成,背板和振膜构成了平行板电容器的两个极板。背板是机械刚性的,带有允许空气通过的穿孔设计。振膜是柔性的,并在声波压力的冲击下发生位移。
封装测试
封装形式
封装产线
封装流程